Thfunção:   A função do sistema de deposição química de vapor é depositar filmes finos no substrato, melhorar as propriedades do material, fabricar dispositivos funcionais, obter modificação da superfície, controlar com precisão a espessura dos filmes finos, melhorar a qualidade do produto, auxiliar na pesquisa e desenvolvimento de novos materiais e ser utilizado na fabricação de circuitos integrados, etc., com as vantagens de alta controlabilidade do processo, capacidade de produção em larga escala e possivelmente menor custo.