Carregamento da peça de trabalho

Câmara de vácuo fechada

O operador conecta a peça de trabalho ao dispositivo de fixação e pressiona o botão Iniciar；

O sistema sela automaticamente a peça de trabalho e fecha a câmara de vácuo, e o ciclo de inspeção começa；

Observação: Existem protetores de grade em ambos os lados da câmara de vácuo. Ao fechar a porta da câmara de vácuo, certifique-se de que não haja objetos que interfiram no movimento da câmara de vácuo na área de fechamento.

Evacuação da câmara de vácuo,

Evacuação da peça de trabalho e detecção de vazamento grosseiro

O sistema evacua automaticamente a câmara de vácuo até que o grau de vácuo na câmara atinja a pressão definida para iniciar o teste.

Simultaneamente:

O sistema evacua automaticamente a peça de trabalho até que a pressão na peça de trabalho atinja o valor definido.

O sistema mantém automaticamente a pressão da peça de trabalho e verifica se há um vazamento grosseiro na peça de acordo com o valor da queda de pressão na peça de trabalho.

Se a pressão na peça de trabalho exceder a faixa definida, isso significa que há um grande vazamento na peça de trabalho. O sistema descarrega automaticamente o gás de alta pressão na peça de trabalho, preenche-o com a atmosfera, interrompe o processo de detecção de vazamento e o vazamento bruto é exibido na interface de operação.

Se o valor da pressão na peça de trabalho não exceder a faixa definida, a detecção de vazamento da peça de trabalho é qualificada.

Evacuação da peça de trabalho

O sistema continua a aspirar a peça de trabalho até que o grau de vácuo na peça de trabalho atinja o valor de vácuo definido.

Enchimento de hélio da peça de trabalho

e

Inspeção de hélio a vácuo

O sistema enche automaticamente a peça de trabalho com hélio na pressão definida até que a pressão na peça atinja o valor definido.

O sistema verifica automaticamente o vazamento fino da peça de trabalho：

Se o detector de vazamento detectar que há um sinal de hélio excedendo o valor definido na câmara de vácuo, isso significa que a peça de trabalho tem um vazamento fino e a interface de operação exibe um sinal de alarme de vazamento fino；

Se o detector de vazamento não detectar que há um sinal de hélio excedendo o valor definido na câmara de vácuo, a detecção da peça de trabalho é qualificada e a interface de operação exibe um sinal qualificado；

Enchimento da câmara de vácuo

e

recuperação de hélio

O sistema preenche automaticamente a câmara de vácuo com atmosfera.

Simultaneamente:

O sistema recupera automaticamente o gás hélio na peça de trabalho para a pressão definida.

Descarregamento da peça de trabalho

A peça de trabalho é qualificada：

A porta da câmara de vácuo abre automaticamente.

O operador desconecta a peça de trabalho do conector da câmara de vácuo.

O operador coloca a peça de trabalho qualificada na área qualificada

A peça de trabalho não está qualificada：

Pressione manualmente o botão de confirmação, a porta da câmara de vácuo abrirá automaticamente.

O operador desconecta a peça de trabalho do conector da câmara de vácuo.

O operador coloca a peça não qualificada na área não qualificada.

O dispositivo emite um alarme durante a detecção da peça de trabalho：

Pressione manualmente o botão de confirmação, a porta da caixa de vácuo abrirá automaticamente.

Pressione o prompt de informações de falha da tela sensível ao toque, cancele o estado de alarme e detecte novamente a peça de trabalho.