A unidade de bomba molecular de alto vácuo com forno tubular de três vias VET-004 foi especialmente projetada para processamento de materiais em múltiplas estações e testes em ambiente de vácuo. Ela integra uma bomba molecular de alta eficiência de 600 L/S e três fornos tubulares independentes. Suporta vácuo máximo de ≤1,5×10⁻⁵Pa e operação colaborativa em alta temperatura de 1200°C. É adequada para pesquisa, desenvolvimento e produção de processos de alto vácuo nas áreas de semicondutores, novas energias, nanomateriais, etc.