Unidade de bomba molecular de alto vácuo tubular de três vias Iso3666 Taxa de bomba molecular 600 l/s Pressão final ≤1,5×10⁻⁵Pa

Unidade de bomba molecular de alto vácuo tubular de três vias Iso3666 Taxa de bomba molecular 600 l/s Pressão final ≤1,5×10⁻⁵Pa

Introdução ao produto

Como equipamento essencial para engenharia de vácuo e processamento em alta temperatura, o VET-004 rompe a limitação tradicional de estação única e adota um projeto paralelo de três vias: cada forno tubular tem um diâmetro de φ120 mm e pode ser controlado de forma independente pela temperatura (temperatura ambiente - 1200 ℃). É equipado com uma bomba molecular de 600 L/S e uma bomba de palhetas rotativas de 9 L/S para atingir rapidamente o vácuo da pressão atmosférica até o nível de 10⁻⁵Pa em 30 minutos. O equipamento suporta o monitoramento em tempo real de múltiplos parâmetros, como grau de vácuo, temperatura e fluxo de gás, e possui um sistema de ligação inteligente integrado. Quando o grau de vácuo é inferior ao limite, o mecanismo de proteção é ativado automaticamente para garantir a estabilidade e a repetibilidade das reações do material em ambientes de alta temperatura. É a escolha ideal para laboratórios universitários, centros corporativos de P&D e linhas de produção de manufatura de precisão.

Características do produto

Processamento paralelo de três vias: controle independentemente fornos tubulares de três vias, suporte a operação simultânea de processos com diferentes temperaturas e graus de vácuo e aumente a eficiência em 300%.

Desempenho de vácuo ultra-alto: exaustão combinada de bomba molecular + bomba de palhetas rotativas, pressão final ≤1,5×10⁻⁵Pa, atendendo aos rigorosos requisitos de vácuo de deposição de filme fino, crescimento de cristais, etc.

Controle preciso de temperatura: Cada forno tubular é equipado com um controlador de temperatura inteligente PID, com precisão de controle de temperatura de ±1℃ e suporta configuração livre da taxa de aquecimento de 0-20℃/min.

Design modular: a bomba molecular e a bomba de palhetas rotativas podem ser desmontadas para manutenção, e o tubo do forno tubular permite substituição rápida, reduzindo o tempo de inatividade e os custos de manutenção.

Sistema de proteção de segurança: alarme de sobrecarga de alta temperatura, desligamento de intertravamento por vazamento de vácuo e design anti-escaldante do invólucro do forno para garantir a segurança operacional.

Adaptação de fonte multigás: interface de entrada de ar de 3 vias reservada (suportando argônio, nitrogênio, hidrogênio, etc.), compatível com medidor de vazão mássica MFC para controlar com precisão o fluxo de gás.

Padrão de referência internacional

ISO 3666:2015 "Tecnologia de vácuo - Medidor de vácuo - Parâmetros de desempenho e métodos de calibração": A calibração de precisão dos sensores de vácuo atende aos padrões internacionais para garantir a confiabilidade dos dados de pressão.

ASTM E2149-13 "Método de teste para taxa de desgaseificação de materiais sob condições dinâmicas de vácuo": Suporta a função de detecção da taxa de desgaseificação de materiais e atende aos requisitos de teste de compatibilidade de vácuo de materiais aeroespaciais.

IEC 61010-1:2010 "Requisitos de segurança para equipamentos elétricos para medição, controle e uso em laboratório": O sistema elétrico passou pela certificação de proteção contra sobrecarga e detecção de falha de aterramento e está em conformidade com os regulamentos de segurança de laboratório.

GB/T 16800-2012 "Tecnologia de Vácuo - Flange de Ultra-Alto Vácuo": A interface da tubulação adota flange de ultra-alto vácuo CF35, e o desempenho de vedação atinge o nível de taxa de vazamento de 10⁻⁹Pa・m³/s.

Uso do produto

Pesquisa em ciência de materiais: crescimento de nanotubos de carbono, deposição de filme de grafeno, recozimento a vácuo de liga metálica

Fabricação de semicondutores: secagem a vácuo em nível de wafer, desgaseificação de chip de LED antes da embalagem

Novo campo de energia: sinterização de material de eletrodo de bateria de lítio, síntese a vácuo de eletrólito de bateria de estado sólido

Análise e testes: avaliação da atividade do catalisador (teste de adsorção/dessorção de gás em ambiente de vácuo)

Universidades e instituições de pesquisa: experimento de comparação de múltiplas estações, ensino de simulação de ambiente de vácuo de alta temperatura

Parâmetros técnicos

Objetos de teste e itens de teste

Objetos de teste

Revestimento de forno tubular e componentes de vedação

Wafers semicondutores, wafers de silício fotovoltaicos, substratos cerâmicos

Materiais em pó nanométricos (como óxido de grafeno, MOFs de estruturas orgânicas metálicas)

Amostras de ligas de alta temperatura, espécimes de materiais supercondutores

Itens de teste

Tempo de estabelecimento do vácuo: tempo necessário para bombear da pressão atmosférica para 10⁻³Pa/10⁻⁵Pa

Uniformidade de temperatura: distribuição axial de temperatura do forno tubular (dentro de ±5℃ é qualificado)

Taxa de desgaseificação do material: volume de desgaseificação por unidade de área da amostra em ambiente de vácuo de alta temperatura

Confiabilidade da vedação: taxa de vazamento na conexão do flange CF (≤1×10⁻⁹Pa・m³/s)

Eficiência da bomba molecular: teste de estabilidade da taxa de bombeamento em diferentes faixas de vácuo (seção de baixo/alto vácuo)