A unidade de bomba molecular de alto vácuo com forno tubular de três vias VET-004 foi especialmente projetada para processamento de materiais em múltiplas estações e testes em ambiente de vácuo. Ela integra uma bomba molecular de alta eficiência de 600 L/S e três fornos tubulares independentes. Suporta vácuo máximo de ≤1,5×10⁻⁵Pa e operação colaborativa em alta temperatura de 1200°C. É adequada para pesquisa, desenvolvimento e produção de processos de alto vácuo nas áreas de semicondutores, novas energias, nanomateriais, etc.
O dispositivo de enchimento de nitrogênio a vácuo VET-005 é um equipamento de nível industrial que integra extração de vácuo eficiente e enchimento preciso de nitrogênio. Suporta vácuo máximo de ≤-100 KPa e fornecimento estável de nitrogênio de 0,7 MPa. É equipado com um módulo de controle independente de estação dupla e é adequado para embalagens eletrônicas, baterias de nova energia, embalagens farmacêuticas e outros cenários com requisitos rigorosos de ambiente de vácuo e proteção contra gases inertes.
O VET-001 é uma unidade de vácuo CNC inteligente projetada para a área de engenharia de vácuo. É composto por uma bomba Roots rápida (taxa de bombeamento de 30L/S) e uma bomba de vácuo mecânica de palhetas rotativas de estágio frontal (taxa de 8L/S). O vácuo máximo pode atingir 5×10⁻¹Pa. É adequado para cenários de vácuo de alta precisão, como fabricação de semicondutores, simulação de ambiente de vácuo em laboratório, revestimento a vácuo, etc., e é o equipamento principal para testes de engenharia de vácuo, P&D e produção.
O sistema de teste de vácuo térmico VET-007 concentra-se em campos de ponta, como aeroespacial e satélites, simula o ambiente extremo do espaço, tem vácuo extremo de 1×10⁻⁵Pa e uma ampla faixa de temperatura de -180℃~200℃ e integra funções de simulação solar e aquecimento infravermelho para fornecer um ambiente de teste preciso para verificação da confiabilidade do produto.
A máquina de pré-bombeamento de vácuo bipartido VET-003 foi especialmente projetada para layouts complexos de linhas de produção. Ela otimiza o espaço e proporciona instalação flexível graças ao chassi de controle separado. É equipada com sensor de vácuo Pirani de alta precisão, suporta ajuste inteligente do grau de vácuo, detecção de vazamentos e livre ajuste do corpo da bomba, sendo adequada para processamento de vácuo eficiente em diversos cenários, como refrigeração, revestimento a vácuo e laboratórios.
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