Unidade de vácuo CNC inteligente com taxa de bombeamento de 30 l/s e vácuo máximo de 5 x 10⁻¹Pa

Unidade de vácuo CNC inteligente com taxa de bombeamento de 30 l/s e vácuo máximo de 5 x 10⁻¹Pa

Introdução ao produto

O VET-001 utiliza tecnologia de combinação de bomba dupla e sistema de controle inteligente para atingir uma saída de vácuo eficiente e estável:

▎Sistema de bombeamento de vácuo de alta eficiência

Projeto de ligação de bomba dupla: bomba Roots (taxa de 30 L/S) e bomba de palhetas rotativas (taxa de 8 L/S) operam em série, com um vácuo máximo de 5×10⁻¹Pa, que é 40% mais eficiente do que um sistema de bomba única e atende aos cenários exigentes com requisitos de vácuo de ≤10⁻¹Pa (como soldagem por feixe de elétrons e tratamento térmico a vácuo).

Modo de economia de energia: avalie a carga de vácuo de forma inteligente, apenas a bomba de palhetas rotativas funciona no estágio de baixo vácuo, e a bomba Roots é iniciada automaticamente no estágio de alto vácuo, reduzindo o consumo de energia em 35% em comparação com as unidades tradicionais.

▎Sistema CNC inteligente

Interação humano-computador: tela sensível ao toque Weilun/Omron de 7 polegadas (interruptor chinês e inglês) exibe 12 parâmetros, como vácuo, taxa de bombeamento, temperatura do óleo, etc. em tempo real, e suporta rastreamento de curva de dados históricos (período de armazenamento ≥30 dias).

Controle automático: equipado com um sensor de conexão da peça de trabalho, o sistema inicia automaticamente dentro de 0,5 segundos após detectar a carga e libera a pressão automaticamente e para após concluir o teste; suporta predefinições de programas personalizados (como configurações de vácuo segmentado e tempo de retenção de pressão).

▎Múltiplas proteções de segurança

Proteção elétrica: detecção de perda de fase (tempo de resposta < 0,1 segundos), proteção contra sobrecarga do motor (desligamento automático a 1,2 vezes a corrente nominal), aviso de superaquecimento da temperatura do óleo da bomba de vácuo (alarme > 70℃).

Proteção mecânica: A bomba Roots possui uma válvula antirretorno de óleo integrada, que isola automaticamente o sistema ao desligar para evitar que o vapor de óleo contamine a câmara de vácuo; a estrutura de aço inoxidável totalmente fechada (nível de proteção IP54) é à prova de poeira e respingos.

▎Capacidade de expansão flexível

Interface de comunicação: a interface RS485/Modbus TCP é reservada para dar suporte ao acoplamento do sistema PLC e SCADA para obter monitoramento remoto (como aviso de vácuo em tempo real e diagnóstico remoto de falhas).

Configuração da tubulação: 2 tubulações de vácuo DN16 são padrão (expansíveis para 4), adequadas para interface de flange KF/QF e compatíveis com conexão rápida de câmaras de vácuo de diferentes especificações.

Características do produto

• Combinação de bomba Roots + bomba de palhetas rotativas, taxa de bombeamento de 30L/S, vácuo máximo de 5×10⁻¹Pa, adequada para requisitos duplos de alto vácuo e alta velocidade de bombeamento
• Tela sensível ao toque + controle totalmente automático PLC, suporte a 10 conjuntos de armazenamento de programas personalizados, eficiência de configuração de parâmetros aumentada em 60%
• Proteção elétrica tripla para perda de fase/sobrecarga/temperatura do óleo, design mecânico anti-retorno de óleo, para garantir 7×24 horas de segurança de operação contínua
• Compatível com o protocolo Modbus, pode ser conectado ao sistema MES de fábrica para obter gerenciamento de cluster e rastreabilidade de dados de equipamentos de vácuo
• Tubulação de vácuo expansível de 2 vias, suporta interface de flange DN16-DN50, compatível com semicondutores, laboratórios e outros equipamentos multi-cenário

Padrão de referência internacional

• ISO 3668:2017 "Método para medir o desempenho de bombas de vácuo" (Cláusula 5 taxa de bombeamento; Cláusula 6 pressão final).
• GB/T 16530-2020 "Bomba de vácuo Roots" (Seção 5.1 Limite de ruído; Seção 5.2 Amplitude de vibração).
• IEC 60204-1:2018 "Segurança elétrica de máquinas - Equipamentos elétricos" (cláusula 8 Circuito de controle; cláusula 12 Proteção contra sobrecarga).
• ATEX 2014/34/EU "Diretiva à Prova de Explosão" (Aplicável a modelos personalizados para ambientes inflamáveis ​​e explosivos)

Parâmetros técnicos

Objetos de teste e itens de inspeção

Objetos de teste:

• equipamento de revestimento a vácuo (como câmara de pulverização catódica de magnetron), equipamento de fabricação de wafers semicondutores (câmara de vácuo de revestimento fotorresistente), forno de secagem a vácuo de laboratório/dispositivo de destilação, máquina de embalagem a vácuo, equipamento de congelamento a vácuo.

Itens de inspeção:

• Desempenho de vácuo: taxa de bombeamento (30m³/h à pressão atmosférica padrão), grau de vácuo final (5×10⁻¹Pa), taxa de aumento de pressão (≤5Pa/min).
• Compatibilidade do sistema: eficiência de vácuo síncrono multipipeline, taxa de vazamento de interface de flange (detecção por espectrometria de massa de hélio ≤1×10⁻⁹Pa・m³/s).
• Estabilidade a longo prazo: flutuação do grau de vácuo (≤±5%) após 8 horas de operação contínua, aumento da temperatura da bomba Roots (≤20℃).
• Economia de energia: consumo de energia sem carga (≤1,5kW), curva de consumo de energia em carga (relação grau de vácuo-potência).
• Desempenho de segurança: resistência de isolamento elétrico (≥10MΩ), continuidade de aterramento (≤0,1Ω), tempo de resposta de desligamento de emergência (≤2 segundos).